MC1000 ION Sputter Coater

MC1000 ION Sputter Coater


content design image

Product Description

MC1000 Ion Sputter Coater adalah instrumen preparasi sampel untuk digunakan dengan Scanning Electron Microscope (SEM). MC1000 dirancang untuk mendeposisikan lapisan logam tipis, seperti platinum (Pt), emas (Au), paduan platinum-paladium (Pt-Pd), atau paduan emas-paladium (Au-Pd), agar permukaan sampel bersifat konduktif secara elektrik dan menghindari penumpukan muatan selama pengamatan di SEM. Ketebalan deposisi logam dapat diatur mulai dari beberapa nanometer hingga puluhan nanometer menggunakan kontrol layar sentuh LCD. Hingga 5 kondisi proses dapat disimpan.

MC1000 beroperasi melalui elektroda magnetron, yang berarti magnet dipasang pada target (elektroda negatif) untuk menghasilkan medan magnet yang tegak lurus terhadap medan listrik pada permukaan target. Hal ini meminimalkan kerusakan spesimen akibat iradiasi partikel yang bergerak cepat (termasuk ion yang terpantul) dan memungkinkan pelapisan dengan granularitas tinggi (partikel berdiameter lebih kecil).

Fitur:

  • Pengoperasian satu sentuhan dari panel sentuh LCD
  • Menyimpan dan memanggil hingga 5 resep
  • Elektroda tipe magnetron mengurangi kerusakan spesimen dan memperkecil ukuran partikel rata-rata
  • Chamber opsional untuk sampel dengan diameter hingga 6 in (150 mm)
  • Spacer opsional untuk sampel dengan tinggi hingga 1.75 in (45 mm)
  • Katup utama untuk menjaga chamber tetap vakum saat tidak digunakan

Specification

General Characteristic
Discharge

Diode discharge magnetron type ; 0.4 kV DC max.; 40 mA DC max.

Opposed parallel disk (magnet embedded) electrode form

Target

Au Target; Pt target; Pt-Pd target; Au-Pd target

Coating rate (max.)

Au target 25 nm/min; Pt target (option) 15 nm / min; Pt-Pd target (option) 20 nm / min; Au-Pd target (option) 25 nm/min (under condition 7 Pa, 40 mA discharge current)

Rotary Pump

135 / 162 I / min (50/60 Hz)

Weight Main unit

Approx. 25 kg

Weight Rotary pump

Approx. 28 kg

Dimension Product

450 (W) x 391 (D) x 390 (H) mm

Power supply requirements

Single phase, AC 100 V ( + 10%) 15 A, (50/60 Hz), 3-pin plug code (3m)

Specimen
Max. diameter

Φ60 mm

Max. Height

20 mm

Resources

MC1000 Ion Sputter Coater.pdf

Related Products

Ion Milling System IM4000Plus

MC1000 ION Sputter Coater

ZONETEM II

Sample Cleaner ZONESEMⅡ

Ion Milling System ArBlade 5000